中特微光刻机订单破亿，11月初集中交付，明年产能预计300台

中特微（成都）电子科技有限公司近紫外接近式光刻机今年订单金额已突破1亿元，首批"双流造"设备将于11月初集中发往全国，主要供应光芯片、显示半导体、LED等领域。该公司在光显示细分市场占有率约80%，是国内唯一在LED领域实现光刻机批量出货并打入8英寸MEMS与光通信高端量产产线的国产设备厂商，并计划明年产能提升至300台。