热点事件持续更新
尼康发布亚微米FPD光刻系统
1 篇报道1 个报道来源2 小时前更新
先了解这件事
AI 综述
2026年10月28日，尼康发布面向OLED量产的亚微米分辨率FX-6ASLH FPD光刻系统，并开始接受订单。该设备采用UV-LED照明光学系统，支持6代线基板生产高分辨率OLED和LCD显示；在6代基板上的分辨率为0.85微米（L/S）和1.0微米（C/H），套刻精度为±0.18微米或更高。首批系统计划于2027年12月出货。
AI 根据报道生成 · 1 小时前更新
最新进展10月28日 17:00
尼康开始接受FX-6ASLH订单，首批系统拟于2027年12月出货。报道时间线
沿着报道，了解事件的不同侧面。
10月28日
- OLED-Info精选尼康发布面向OLED量产的亚微米分辨率FX-6ASLH FPD光刻系统
尼康开始接受FX-6ASLH FPD光刻系统订单，该设备支持6代线基板生产高分辨率OLED和LCD显示。FX-6ASLH采用UV-LED照明光学系统，在6代基板上的分辨率达到0.85 µm（L/S）和1.0 µm（C/H），套刻精度为±0.18 µm或更高，首批系统计划于2027年12月出货。
本事件热度走势
还没有足够的连续观测数据，暂不绘制趋势。